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ECD

ECDは半導体製造において、迅速かつコスト効率の高い銅ワイヤを敷設する手法です。ワイヤは電気回路を形成する配線を製造するために使用されます。回路が適切に機能するためには、電気的信頼性や機能を犠牲にすることなく、メタルがワイヤのビアおよびトレンチのフィーチャを完全に充填することが非常に重要です。