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Centura®

アプライド マテリアルズ製装置の中で、最も汎用性のあるCenturaシステムは、ALD、CVD、エピタキシー、エッチング、フォトマスク製造、PVD、プラズマドーピング、プラズマ窒化、RTP、さらにはHigh-kトランジスターゲートスタック製造といった、複数のステップが統合されたプロセスまで、比類のない幅広いアプリケーション向けに、全世界で8000台以上出荷しています。