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Centris™

アプライド マテリアルズの最新半導体プロセスプラットフォームであるCentrisは、最大6基の独立したプロセスチャンバ、2基のプラズマクリーンチャンバを独自に真空ロードロックに合体し、高速移送ロボットにより、競合製品の約2倍となる1時間に180枚のウェーハ処理を可能にしています。

Centrisプラットフォームは“スマート”なシステムモニタリングソフトウェアとNISTトレーサブルスタンダードを搭載しており、今後の高度に複雑化したチップ設計の歩留まり向上に不可欠な業界をリードする均一性と再現性で、確実に1枚のウェーハを処理します。