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Varian VIISta® 900XP

VIISta 900XPは中電流イオン注入市場に正確性、クリーンさ、生産性、生産価値をもたらします。加えて、+および++チャージ状態で300keVと600keVでの操作が可能な拡張されたエネルギーレンジにより、VIISta 900XPでは、従来のバッチによるsub-MeVウェルアプリケーション用高エネルギーツールよりも生産性が向上しました。

再現性のある正確な注入角度制御は、先進デバイスの大量生産における正確なドーピングにおいて非常に重要です。Varian Positioning System (VPS) は、アプリケーションエンベロープ全体を通して、確実にレベルを制御します。

VIISta 900XPは業界で最もクリーンなビームラインを備えています。フィルターマグネットは、ソースにある不要な注入物のほとんどを除去します。デュアルマグネットアーキテクチャは、アナライザマグネットや大量の分析スリット領域で、ウェーハをビーム由来の金属やその他のコンタミネーションから分離します。

VIISta 900XPは業界最高クラスの500WPHの機械的スループットを提供します。枚葉式並列パスウェーハのハンドリング、迅速なビーム設定時間、より高いビーム電流のオプションにより、ツール全体の生産性が大幅に向上します。