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Vantage® Radiance®Plus RTP

Applied Vantage RadiancePlus RTPシステムは、ワールドクラスのRTPチャンバテクノロジーを製造現場で実証済みの低CoOプラットフォームと組み合わせ、大量生産および大気圧RTPアプリケーションへの対応を可能にした、業界をリードする高生産性ソリューションです。合理化されたデザインにより、単一ユニットでの出荷が可能で、立ち上げ期間や生産開始までの時間が短縮できます。

同システムは、ハニカム構造型光源、7点温度計測、100 Hzクローズドループ制御、240 rpmウェーハ回転機構といった、実績のあるRadianceチャンバテクノロジーを活用しています。その最適化されたハードウェアと温度制御により、注入やその他のアニール、拡張された低温サリサイド処理において、卓越したスパイク・アニールの均一性を提供します。