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Vantage® Astra™ DSA

Applied Vantage Astra DSA(ダイナミック表面アニール)システムは、アプライド マテリアルズが開発した初の最先端レーザーアニール装置です。継続的な装置拡張に不可欠な先進のSi化に比類のない能力を提供します。高速熱処理(RTP)装置市場におけるアプライド マテリアルズのリーダーシップを築くAstra DSAテクノロジーが、当社のアニール製品のポートフォリオを、急速に重要性を増すミリ秒単位のアニール分野へと拡大します。Applied Vantage Astra DSAは、今後の数世代の装置にとって必須となる優れたアニール性能と制御能力をお客様に提供します。

優れた生産性と信頼性、コンパクトなサイズを意識してデザインしたAstra DSAシステムは、競争力の高いCOO (Cost of Ownership)を提供し、同タイプのアニールに欠かせない、期待通りの生産実用性を発揮します。

同システムのレーザーは、ウェーハ表面のいくつかの原子層を1ミリ秒以内に1000°C以上にまで加熱、すなわち毎秒あたり100万°Cの昇温レートを実現しています。100°C程度の予備加熱温度から瞬時に{0}超高温まで加熱後、急速冷却させる能力により、リーク電流起因の歩留まり低下を引き起こすソース/ドレイン欠陥の形成を大幅に低減します。

Vantageプラットフォームには、2基のAstraチャンバを組み込めるほか、1基のAstraチャンバと、さらにもう1基をRadiance®/PlusもしくはRadOx™などの他のRTPチャンバで構成することも可能です。