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Raider® Mini Quattro ECD

Raider M-Quattroは、高性能枚葉式ECDシステムで、完全自動精度ウェーハハンドリングとマルチプロセスチャンバを備えています。Raider Mプラットフォーム用に開発したプロセスとレシピは直接、大量生産用Raider GT ECDシステムに移植可能で、研究開発から製造へと迅速かつ円滑に移行できます。

特徴

  • 性能の最適化のため、最大4基の同様もしくは異なるタイプのチャンバが搭載可能です
  • 4.5m2未満の小さな占有面積
  • 最大基板サイズ300mm
  • オープンカセット、SMIF、またはFOUPに使用可能
  • オンボードの薬液ハンドリング
  • 最大4種の異なる薬液
  • めっきにはオンボードめっき電源を採用
  • エンドポイント検出が可能