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Producer® DARC® PECVD

Applied Producer DARC (誘電体反射防止コーティング) PECVD (プラズマ強化化学気相成長)は、90nm以降のテクノロジーで反射率を抑え、フォトレジストポイズニングを削減し、フォトレジストの密着性を向上する、業界最先端の反射防止コーティング膜です。

APF/DARCの膜スタックは、アプライド マテリアルズのAPF™ (Advanced Patterning Film )と除去可能なCVDハードマスクを併せて使用することで、エッチング選択性、CD制御、ラインエッジ粗度を改善したリソグラフィーソリューションを提供します。 Applied Producer DARC PECVDは幅広い屈折率と吸光係数を提供し、複数のアプリケーションにおいて比類のない屈折率の制御が可能です。これらの膜はその他のCVD誘電体にin-situで統合でき、高い効率と低い所有者コストを実現します。

DARC 193 はフォトレジストポイズニングを最小限に抑える窒素フリーの膜で、フォトレジストの密着性が向上します。 また、従来のゲート、多結晶シリコン、アルミニウムによる配線といったリソグラフィーアプリケーションに加え、DARC 193 は優れたLow-k誘電体膜への密着性により、デュアルダマシン配線に最適です。