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Producer® Celera™ PECVD

Applied Producer Celera PECVD (プラズマ強化化学気相成長)システムは、45nm以下のテクノロジーノードでの歪みエンジニアリングソリューションで使用する調整可能な圧縮応力、引っぱり応力を備えた高ストレス対応の窒化シリコン膜を作成します。

Producer Celera システムは、歪み誘起窒化膜の形成と紫外線硬化プロセスを統合した初のソリューションで、低いサーマルバジェット要件を満たしながら、最高引っ張り応力1.7GPa(2.0GPaまで拡張可能)を達成します。 また、同じ成長チャンバで圧縮応力最高3.5GPaの成長膜を作成できます。 このプロセスでは製造現場で実績のあるシランCVD技術を採用し、優れたSiNエッチストップ特性とパターンローディング結果を維持しつつ、70%未満のより優れたステップカバレージを達成します。

Applied Celeraの成長、紫外線硬化プロセスは生産現場で実績のある高スループットのProducerプラットフォームに統合されています。 柔軟性の高いTwin Chamber®構成を採用したProducerプラットフォームでは、 複数ステップの成長と紫外線硬化プロセスを統合することが可能になり、トランジスタの性能と信頼性が向上します。 同じTwin Chamberで引っ張り応力、圧縮応力両方の膜を生成可能なため、プロセスの柔軟性が高く、拡張可能なプラットフォームにより、 お客様はProducerツールセットを複数のプロセスノードで活用することができます。