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iSystemコントローラ

Applied iSystemコントローラは、プロセスもしくはスループットへのリスクなしにサブのリソースを最適化する、業界で唯一のサブファブソリューションです。多くのお客様が、iSystemコントローラを設置後、迅速なROIを達成しています。

ツールの操作をモニタリングしている間に、Applied iSystemコントローラは、他の環境要素の中で、原料消費レポートおよび温室効果ガス排出量のレポート作成のために使用可能な、貴重なデータを収集します。iSystemコントローラの小さな占有面積の中で、最大4つのツールをサポートすることが可能で、アプライド マテリアルズ製か否かを問わず、200mmおよび300mmプロセスツールに簡単に設置することができます。現在の1000台以上の設置実績において、メーカーから迅速な投資対効果が報告されています。

特徴

  • 新規および既存の工場に簡単に設置

  • ツールおよびサブレベルでコンフィグレーションが可能

  • フェイルセーフ安全プロトコル

  • 工場およびサブファブの同期

  • インテリジェントなアイドルモード

福利厚生

  • エネルギーコストを~20%低減

  • リアルタイムでプロセスツールに接続

  • 設備を変更することなくグリーン機能を実現

  • 継続的に温室効果ガス排出レポートを提供

  • 2秒以下でアイドルからプロセス状態へと燃料の流れを回復