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Enflexor™ TFEシステム

薄膜封止向けプラズマ化学気相成長(PECVD)システム

薄膜封止用プラズマCVD装置、Enflexor™ Gen 6H PECVDは、優れたバリアフィルムを成膜し、フレキシブル有機EL(OLED)パネル製造を可能にします。Enflexor Gen6Hは、様々なバッファフィルムを提供すると同時に、自動マスク交換機能を有しており、オールインワンのシステムプロセス機能を実現します。高い歩留まり性能により、量産への迅速な移行に貢献します。また、この装置は、他の有機EL装置と容易にインテグレーションすることが可能です。