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Centura HDP CVD 200mm

全世界で1000台以上が稼働中のApplied Centura Ultima HDP-CVD(高密度プラズマ化学気相成長)装置は、200mm以下のアプリケーション向けに、実証されたボイドフリーのギャップフィルソリューションを提供し、複数の世代にわたって業界をリードし続けています。

アプライド マテリアルズの特許取得済みHDP-CVDリアクターデザインとプロセステクノロジーは、STI、プリメタル絶縁膜、ILD、IMD、パッシベーションなどの幅広いアプリケーションにおいて、ドープおよび非ドープ膜の成膜を可能にします。