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Applied TopBeam™

TopBeamは、高出力な電子ビーム蒸着により、非常に多様な金属および酸化物を蒸着することができます。この蒸着プロセスは、真空成膜プロセスの中で最速のコーティングスピードを提供します。高い膜厚均一性のためには、横軸とマシン方向双方での閉ループインライン制御システムが必須であり、TopBeamはインラインの計測システムと共にESCOSYS®を搭載して対応しています。

TopBeamは、チャンバのサイズにより、ロール幅550から1,100mm対応のTopBeam 1100 / 1100 Sシリーズと、ロール幅1,425から2,850mm対応のTopBeam 2850 / 2450シリーズの2機種をそろえています。TopBeam 1100 Sは、カラーシフト用のファブリペローフィルターといった光学積層膜用に設計された装置で、高い量産性が焦点とならないようなアプリケーションに使用されます。TopBeam 2850 / 2450は、酸化ケイ素のような昇華材料の蒸着によるバリア成膜では最高の量産性を誇る装置です。30年以上にわたる電子ビームによるウェブコーティングとスパッタによるウェブコーティングの経験に基づき、TopBeam 1100 Sは、電子ビーム蒸着とマグネトロンスパッタリング源を搭載しており、これら2つの成膜技術の双方の利点を兼ね備えています。