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Applied SmartWeb®

「SmartWeb」は、非常に柔軟なモジュラー設計により、幅広いフィルム成膜オプションを備えた先進的な積層成膜を可能にするロール・ツー・ロールスパッタリング装置です。独自のデザインにより、タッチパネル、フレキシブル太陽電池、フレキシブルディスプレイ、フレキシブルプリントサーキット、医療用装置など、様々な新しいアプリケーションに対応しています。

タッチパネル産業はダイナミックで急速に発展しており、フラットパネルディスプレイ製造装置市場における重要な要素となっています。

単一システム構造で、先進的なスパッタカソード(平面またはロータリーカソード、DCまたはAC電源)、表面処理源、基板加熱・冷却モジュール、in-situのプロセスモニターとコントロール及びフィルムプロセス技術を、お客様の条件に合わせて構成することができます。

SmartWebは非常に汎用性が高く、様々なサイズの、金属から薄いポリマーフィルムまで、多様な基板を扱うことができます。設置面積が小さく、装置の高さも低く、モジュラー構造なので、SmartWebはラボの環境でも、量産環境でも対応可能で、クリーンルームと親和性があり、操作が易しく、メンテナンスも容易で、新しいアプリケーションの課題に取り組むのに最適な装置です。