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Applied® Sigmameltec™ CTSマスクコートシリーズ

世界トップクラスのCD均一性は、レジストコートの品質に依存します。ナノメータのスケールでは、数多くの要因が精度に影響を与えます。これらの要因には、純度、チャンバ内空気の温度と湿度、マスク表面の前処理、レジスト滴下およびスピン特性、後処理におけるベーク温度制御などが含まれます。

SigmameltecのCTSシステムは、再現性のある特性と、極めて低い欠陥レベルで、かつ高品質なレジスト層形成のための環境を提供します。マスクブランクの前処理では、厳密に制御されたのレジスト滴下や、1nm(3s)レベルでのコート均一性を提供するスピン動作により、良好な密着性を有する清浄な表面を確保します。コートチャンバには3種のレジストに対応する注入アームが準備されており、オプションによりアームを選択することができます。また、自動化された溶剤洗浄によりコート環境の清浄性を一貫して確保します。

主な機能:

  • 高度な均一性と再現性のあるコートを実現する、最適化されたスピンチャンバ
  • 先端レジスト材料を均一に滴下する複数のレジストアーム
  • レジスト特性安定化のため、高精度に温度制御されたレジストコート後ベークと冷却プレート
  • レジストコート前のマスク表面のパーティクルを除去するCO2水洗浄を備えたジェットメガソニックチャンバ
  • レジストコート前のマスク表面状態を改質してレジストの密着性を向上するUV照射機構(波長:172nm)
  • 精密な動作で精緻にマスク端部のレジストをトリミングする、先進のエッジビード除去(EBR)ユニット
  • 高品質なコートを保証するアミンフィルタを備えたクラス1チャンバ
  • 清浄かつパーティクルのないコート環境を維持する自動溶剤洗浄
  • レジスト密着性を高めるHMDS第一チャンバ(オプション)