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AKT®-PX PECVD

有機ELディスプレイおよびTFT-LCDディスプレイ用のLTPSアプリケーション用プラズマCVD装置

プラズマCVD装置のApplied AKT-PXファミリーは、1.6~5.7m2(第5世代~第8.5世代)のガラス基板に、均一性の高い低温ポリシリコン(LTPS)膜を成膜します。低温ポリシリコン技術は、有機ELディスプレイ(AMOLED)および超高解像度の薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ(TFT-LCD)において高性能トランジスタアレイを製造するための実証された技術です。

アプライドの大型ガラスサイズ向け低温ポリシリコン用CVD装置によって、パネルメーカーは、基板1枚当たり、より多くのディスプレイを製造することができます。また、より大型のディスプレイを製造することができ、モバイルデバイスやテレビにおける画面サイズの大型化への移行に貢献しています。

有機ELディスプレイおよび先進のTFT-LCDディスプレイは、従来のLCDディスプレイで使用されているアモルファスシリコンの代わりに、ポリシリコンをトランジスタに使用します。ポリシリコンの電子移動度が早いほど、各ピクセルを制御するトランジスタを小型化し、その応答速度を高速化することができます。その結果、ディスプレイは、より明るくシャープになり、使用するエネルギーも減ります。画質とバッテリー寿命が重要なモバイル用途では非常に望ましい特性です。