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AKT® NEW ARISTO™ CF

カラーフィルター用スパッタリング装置

フラット パネル ディスプレイ(FPD)で使用される、非常に重要な導電膜や反射膜の成膜用に設計されたNEW ARISTOは、液晶ディスプレイメーカーにとって標準のカラーフィルター用薄膜成膜ソリューションになっています。今日のあらゆる液晶ディスプレイ技術向けに成膜プロセスを提供し、最大第8世代超のサイズのガラス基板に対応しています。

完全に自動化された縦型インライン スパッタリング 装置として、NEW ARISTOは、業界最高のスループットを提供します。自動ロード、アンロード機能および弊社の特許取得済み磁気キャリア搬送システムによって、サイクル時間を大幅に短縮することができます。さらに、先進のロータリー カソード テクノロジーを採用し、NEW ARISTOは、革新的な大量生産ソリューションととして市場で実証されています。モジュール式ドアコンセプトにより、システムアップグレードが容易で、投資の安全性を提供します。New Aristoは、ディスプレイ業界において、大型カラーフィルター量産設備の標準的な装置となっています。