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AKT®電子ビーム アレイ検査

AKT電子ビーム アレイ 検査(EBT)装置は、フラットパネルマトリクス量産における、ダイナミックピクセルおよび薄膜トランジスタ(TFT)特性評価、および機能検査に使用されます。第5世代(1.5m2)から第10世代(10m2)までのあらゆる世代のガラス基板に対応する検査プラットフォームを提供しています。

機械的な動作が非常に小さいAKT EBT TFTアレイ検査装置は、高い信頼性、短いダウンタイム、低いランニングコストを実現します。電子ビームアレイ検査装置は、複数の平行な電子ビームを使い、高速で広範囲のビーム位置決めを行い、高いスループットを達成します。非常に小さいビームスポットサイズと高精度なビーム位置決め精度により、ディスプレイ解像度の向上に伴うピクセルサイズのさらなる縮小に適応し、超高解像度用途に対応します。非折衝の検査技術により、ディスプレイを破損したり傷つけたりすることなく、高価な液晶ディスプレイパネルや有機ELディスプレイパネルを検査することが可能です。