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AKT®電子ビームレビュー

ディスプレイ技術の進歩により、プロセスステップの数が増え、それによってゴミの数が増え、小型化し、新しいタイプの欠陥が発生しています。

ディスプレイ用に現在使われているインライン自動光学欠陥検査ツールは、キラー欠陥かそうでないかを区別する、または欠陥のシステム上の根本原因を判断するのに、走査型電子顕微鏡(SEM)分析ほど有効ではなく、ディスプレイに関してSEM分析を行うには、ガラス基板を破砕し、顕微鏡で各断片を別々に検査する必要がありました。これでは、コストが高く時間がかかるだけでなく、動作の不具合を最終デバイスのパフォーマンスに結び付けることも、ほとんど不可能になります。アプライドの電子ビームレビュー(EBR)装置の導入により、パネルを壊すことなく、業界最高の解像度とスループットでインラインSEMレビューが可能となり、これらの問題を解決することができます。