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AKT® New Aristo™ Touch

タッチパネル用スパッタリング装置

AKT Aristo Twin PVD(物理気相成長)装置は、タッチパネル製造用スパッタリング装置です。新しいAristo Twinシステムによって、タッチパネルメーカーは、面積が最大5.5m2までの様々なガラス基板に、すべてのPVDフィルム層を一つの装置内で成膜することができます。

Aristo Twinは、互いに完全に独立して制御、運用できる、真空処理トラックを2本搭載しています。この独自の機能により、高度なタッチパネル製造に対応する多様なプロセスを提供します。

最新の静電容量タッチパネルでは、二酸化ケイ素(SiO2)酸化インジウムスズ(ITO)金属および合金からなる複数の膜が、ガラス基板の片面または両面に成膜されます(図を参照)。Aristo Twinの並列構造によって、一つのAristo Twin装置で、静電容量タッチパネル製造プロセスフローに必要な、すべてのPVDフィルム層を成膜することができます。

さらに、Aristo Twinは新しいレベルの生産性をタッチパネル製造に提供します。分離した真空トラックのコンセプト、および実績のある成膜チャンバと基板搬送メカニズムにより、一方の真空トラックで保守を行いながら、もう一方の真空トラックで製造を継続できるため、高い稼働率を達成し、競合する装置に比べ、生産量が最大40%増加します。

保守間隔をさらに広げるため、成膜モジュールは、最新のロータリーターゲットテクノロジーを採用しており、従来の平面ターゲットに比べ、ターゲット使用効率が高く、優れた膜質と高いパーティクル制御を提供し、高い生産歩留まりを可能にします。