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Aeris™-Gプラズマ除去装置

Awareness of global warming is increasing, and the regulatory push to effect reduction is in full swing. Recognizing this, Applied Materials continues to search for proactive, cost-effective ways of reducing high global-warming potential (GWP) of the gaseous chemicals used, which includes perfluorocarbon compounds(PFCs), NF3 and SF6.

Applied Aeris™-Gシステムはプリポンプによるプラズマ除去ソリューションで、ポストポンプの除去ユニットよりも、実際のプロセスガスを少量かつ濃縮して使用することで、消費電力を低減します。除去処理中のAeris-Gチャンバ内で、プラズマ分離と少量の窒素を組み合わせることにより、NOxの排出をゼロに近づけることができます。「オンデマンド」で稼働するAeris-Gユニットでは、常に稼働している消費電力の高いポストポンプ除去装置よりも、大幅に運用コストが削減されます。

Aeris-G装置は、各チャンバの占有面積内で設置することができます。既存ツールへの設置に最適な同装置は、現行の排気ラインに簡単に適合し、必要なのは電力と超純水への接続だけです。新しいツールへの設置では、Aeris-Gはユーティリティと排気接続を削減することでサブファブスペースを節約し、除去効率を改善しつつ設置コストを最小限に抑えます。

特徴

  • 可動部品のないソリッドステート・マッチネットワーク

  • 独自インターフェースで制御されたAeris-Gは、チャンバプロセスと同時に稼働します。

  • 透明性のあるプロセスで、ポンプの寿命に影響しない

  • 信頼性が実証された99.9%の稼働時間

福利厚生

  • 実質的にVOC、COx、NOxの排出ゼロ

  • CF4にて典型的な95%以上の破壊除去率(DRE)を提供

  • SF6、CHF3、C3、F8、NF3、C4、F8にて典型的な99%以上のDREを提供

  • CoOを削減してユーティリティの消費を低減

  • 従来のバーンウェット方式の除去よりも、工場の二酸化炭素排出量が減少