アプライド マテリアルズ　3Dトランジスタ構築に向けたブレークスルー技術を発表

報道資料
2011年3月17日
（日本時間）

アプライド マテリアルズ　3Dトランジスタ構築に向けたブレークスルー技術を発表

• 22nm以降のロジック／メモリーチップ向けに独自のプラズマドーピングソリューション
• イオンビーム注入技術に代わり、複雑な3D構造のコンフォーマルドーピングに対応
• アプライド マテリアルズに新たな市場を開く画期的な装置

アプライド マテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフォルニア州サンタクララ、会長兼CEOマイケル・スプリンター）は3月16日（現地時間）、Applied Centura® Conforma™を発表しました。この装置は、画期的なConformal Plasma Doping（CPD™）技術によって次世代ロジック／メモリーチップ向けに高度な3D構造の形成を可能にするものです。Conformaは高ドース・低エネルギーのドーピング技術とin situ洗浄機能を1台の真空チャンバに組み込み、プレーナ（平面型）および3Dの両構造において均一で高スループットのドーピングを実現します。高純度で添加物を含まないドーピング物質を用いて下層のデバイス構造を保全し、優れたデバイス性能を確保する点も、他のプラズマドーピング装置にはない重要な特長です。

アプライド マテリアルズのバイスプレジデント兼ジェネラルマネージャー（フロントエンドプロダクト部門）、スンダー・ラマムルティは次のように述べています。「当社のプラズマドーピング装置には、RF技術やCVDチャンバ設計、広範なプロセスノウハウに関するアプライドの高度な専門知識が生かされています。Conformaはすでに多くのお客様に採用され、パイロットラインや大量生産の現場で稼動しています。また、お客様や研究機関と協力して、当社の固有技術を生かした先進的なR&Dプログラムにも取り組んでいます」

ドーピングとは、半導体製造の基本的なプロセスの1つで、材料の結晶格子構造に不純物を導入してその電気特性を変えるものです。従来のドーピングプロセスでは、ウェーハに高速のドーパントイオンビームを照射する方法が用いられてきました。しかし、こうした直線的な照射プロセスでは高度な三次元構造を均一にドーピングできないだけでなく、高速で移動するイオンが最先端ICチップのきわめて薄い半導体層を破損する懸念もありました。

こうした課題を解決するため、アプライド マテリアルズのConforma技術は緩やかな低エネルギープロセスを用い、複雑な3Dチップ構造に対して均一なコンフォーマルドーピングを実現しています。Centura Conformaは、プラズマプリクリーン機能とRTPアニール機能を同一の真空プラットフォーム上にインテグレートした唯一のプラズマドーピング装置です。プロセスシーケンスが統合されるため、処理されたウェーハ上に残留物が残って悪影響を及ぼす懸念がなくなります。

新しいConformaは、finFETロジック、縦型ゲートDRAM、縦型NANDフラッシュメモリーアレイといった先進的デバイスの製造に対応しています。
アプライド マテリアルズの画期的なConforma技術の詳細については、www.becauseinnovationmatters.comをご覧ください。

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、先進的な半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造に用いられる革新的な装置、サービスおよびソフトウェアを提供するグローバルリーダーです。アプライド マテリアルズのテクノロジーにより、スマートフォン、薄型テレビ、ソーラーパネルなどの製品が世界中の家庭やビジネスで、より手頃な価格でご利用いただけるようになります。アプライド マテリアルズは、今日のイノベーションを明日の産業へ発展させていきます。

詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。

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このリリースは3月16日米国においてアプライド マテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライド  マテリアルズ ジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。

アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：渡辺徹）は1979年10月に設立。京都、大阪支店のほか14のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポート体制を整えています。

このリリースに関する詳しいお問い合わせは下記へ
アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社
社長室： 大橋 百合　(Tel: 03-6812-6801)
ホームページ： http://www.appliedmaterials.com