アプライド マテリアルズ　暗視野式ウェーハ検査の限界を拡大するDUVレーザー技術を発表

報道資料
2011年3月17日
（日本時間）

アプライド マテリアルズ　暗視野式ウェーハ検査の限界を拡大するDUVレーザー技術を発表

• 暗視野欠陥検査装置として初めてDUVレーザー走査を採用、かつてないパーティクルに対する感度を実現
• 暗視野式装置では従来検出できなかった最小40nmのパーティクルもパターンウェーハ上で検出可能
• 経済性が高く、コストオブオーナーシップは他の暗視野式装置に比べ最大40%低減

アプライド マテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフォルニア州サンタクララ、会長兼CEOマイケル・スプリンター）は3月16日（現地時間）、22nmノード以降のメモリー／ロジックチップの複雑な配線層検査に対応した画期的な装置を発表しました。新しい検査装置Applied DFinder™は、暗視野式装置としては初めてDUV（深紫外線）レーザー技術を採用し、製造環境でパターンウェーハ上のきわめて微細なパーティクルを検出して歩留まりを高めるかつてない機能を備えています。DFinderは特に配線検査用として設計されたもので、他の暗視野式装置に比べてコストオブオーナーシップ（CoO）を最大で40%低減します。製造では50以上もの検査ステップが必要となる場合もあるため、CoOの低減は大きな利点となります。

DFinder独自のDUVレーザー照射技術は、22nmノードにおいて問題となるあらゆるパーティクルを従来の暗視野式装置に比べ30％以上小さい最小40nmまで検出することが可能です。さらに、独自のグレージング角光路と完全偏光制御によりパーティクルを製造ウェーハ上のパターンから効果的に分離し、歩留まり低下をもたらすパーティクルを検出するとともに、擬似欠陥検出や不要欠陥の検出を大幅に減らすことができます。この装置はウェーハパターンと重要な欠陥を見分ける優れた能力を備えているので、パターンなしのテストウェーハを使った従来の手法をほぼ全廃して時間とコストを節約することができます。

アプライド マテリアルズのバイスプレジデント兼ジェネラルマネージャー（PDC 部門）、ロネン・ベンジオンは次のように述べています。「アプライド マテリアルズは薄膜形成における広範な知識と経験を生かし、検査分野でも当社ならではの技術でお客様が次世代チップの歩留まりの最適化を支援します。これができるのは当社だけです。DFinderは、次世代の欠陥への対応に特化した検査装置として開発されました。お取引先のファンドリーやメモリーメーカ各社は、この新装置に大きな期待を寄せています。すでに複数台を販売し、量産用の追加注文も入っています」

この画期的な検査装置DFinderの詳細については、www.becauseinnovationmatters.comをご覧ください。

Cuベースの半導体チップは、そのほとんどがアプライド マテリアルズの製造装置を使って生産されています。アプライド マテリアルズが手がける製品には、このほかエッチング、薄膜パターニング、バリア／シード成膜用の各装置や、工場の効率と産出量を最適化する先進的な自動化ソフトウェアなどがあります。

アプライド マテリアルズの先進的な配線形成ソリューションの詳細については、www.appliedmaterials.com/interconnectsをご参照ください。

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、先進的な半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造に用いられる革新的な装置、サービスおよびソフトウェアを提供するグローバルリーダーです。アプライド マテリアルズのテクノロジーにより、スマートフォン、薄型テレビ、ソーラーパネルなどの製品が世界中の家庭やビジネスで、より手頃な価格でご利用いただけるようになります。アプライド マテリアルズは、今日のイノベーションを明日の産業へ発展させていきます。

詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。

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このリリースは3月16日米国においてアプライド マテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライド  マテリアルズ ジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。

アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：渡辺徹）は1979年10月に設立。京都、大阪支店のほか14のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポート体制を整えています。

このリリースに関する詳しいお問い合わせは下記へ
アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社
社長室： 大橋 百合　(Tel: 03-6812-6801)
ホームページ： http://www.appliedmaterials.com