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低温ポリシリコン

低温ポリシリコン(LTPS)トランジスタの製造は、アモルファスシリコン(a-Si)および酸化物半導体トランジスタの製造より複雑であり、追加の工程やプロセスを必要とします。

これによってコストが増える一方で、LTPSは、移動度が、今日の酸化物半導体ベースの画面の10倍あり、はるかに高い解像度とピクセル密度を達成できます。有機ELベースのモバイルデバイス、超高精細テレビ、レティナディスプレイのスマートフォンやタブレットに最適なソリューションとなっています。より大型のLTPSプラズマ強化化学気相成長(PECVD)装置を導入すれば、主要パネルメーカーは、より大型の基板にLTPSテクノロジーを適用でき、これらのディスプレイのコストを削減することができます。