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電子ビームレビュー

近年の高解像度有機ELおよび液晶ディスプレイ製造では、欠陥検出およびプロセス制御をより重視する必要があります。アプライド マテリアルズによる世界初のインライン電子ビームレビュー(EBR)装置は、半導体走査型電子顕微鏡検査(SEM)を、AKTの大規模真空プラットフォームに統合しています。

Auto process inspection (API) and critical dimensions (CDs) measurement enable customers’ most challenging process control spec. Features a precision stage, auto defects review (ADR) module registers the defects based on AOI coordinates and determines root cause of killer defects aided with EDX. Bringing semiconductor yield methods of inline SEM enables high yielding reliable flexible OLED displays and accelerates the world’s largest substrate LCD yield ramp.