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電子ビームレビュー

近年の高解像度有機ELおよび液晶ディスプレイ製造では、欠陥検出およびプロセス制御をより重視する必要があります。アプライド マテリアルズによる世界初のインライン電子ビームレビュー(EBR)装置は、半導体走査型電子顕微鏡検査(SEM)を、AKTの大規模真空プラットフォームに統合しています。